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日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率,确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。
日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡产品简介:
日本JIMA RT RC-04B 是一款采用蕞新半导体光刻技术制造的分辨率测试图。它用于校准和监控系统分辨率,确保您的微焦点或纳焦点 X 射线检测系统获得高质量的检测结果。该测试图包含 23 条 T 形线,每条线包含 7 个间距,间距范围从 0.1µm 到 10µm。此测试图随附一个收纳盒(无需额外付费),使用时请将其从收纳盒中取出。

线条图案:
线宽/间距:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、10、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 µm

芯片横截面:
钨色图表绘制在一块6.25毫米见方的硅芯片上。该芯片固定在一个30 x 40毫米的铝制底座上,并用PET薄膜覆盖以保护芯片。

日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡技术参数:
| 住房面积 | 尺寸:30x40毫米x5毫米(厚) |
| 硅基底尺寸 | 15µm±1µm(厚度) |
| 吸收材料 | 钨,厚度≥650纳米 |
| 保护膜 | PET薄膜(厚度:25微米) |
| 行数 | 8行(7个空格),V&H,T形布局 |
| 行/间距大小 | 0.1µm 至 10µm:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.35、0.4、0.5、0.6、0.7、0.8、0.9、10、1.5、2.0、3.0、4.0、5.0、6.0、7.0、8.0、9.0、10.0 µm 宽度 |
| 线宽/尺寸公差 | 0.1、0.15µm:±0.02µm / 0.02~2µm:±10% / 3~10µm:±8%(扫描电镜) |
| 工作温度范围 | 50°F至158°F(10°C至70°C) |
日本JIMA RT RC-04B分辨率测试卡尺寸规格:

中科汇仪
